真空泵无法抽取的极限真空度。首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次，应打开气镇，使泵运行30分钟左右，以排出非泵油污染引起的压缩蒸汽，消除压缩蒸汽对极限真空度的影响。排除这两个因素后，真空泵无法抽取极限真空度的主要原因包括泵油污染、泵内油过滤器堵塞导致压缩注油系统油路不畅、配油阀变形、磨损或损坏、真空泵旋片磨损或转子内弹簧张力不足、排气阀动作故障等。此时，应清洗和更换零件.真空泵进水。如果真空泵进水是因为冷却器积水过多，泵入真空泵处理的油中的水分含量较高，其水蒸气进入真空泵时没有在冷却器中冷却成水，可以通过观察冷却器上的液位计。如果水位过高，应及时释放。应清洗真空泵，更换真空泵油以消除这种情况。真空泵漏油。漏油主要发生在滤油器的油窗、油箱垫、电机轴承轴封三个位置。解决漏油问题的方法是更换老化的油窗、轴封、垫片和充满泵油的毛毡垫。维修完成后，注油前用真空泵油冲洗真空泵，用溶剂清洗注油口处的滤网，保持油箱清洁。真空泵的电机在运行中途停止。一般来说，这是因为电压过高，电源缺相油位超过油位下限，这种情况可以通过暂停使用和检查电源来消除。如果启动不正常，那么电气部件就会出现故障，只需更换电气部件即可。滤油器需要及时清洗、定期维护和长期维护，才能实现机器的正常运行。特别是真空滤油器真空泵的清洗、维护和维护要做好。